Направления работ:

  • Разработка рабочего эталона (установки высшей точности) на базе приборов нанометрового диапазона с интерференционными и другими датчиками перемещений.
  • Разработка комплекса параметрических мер для калибровки приборов нанометрового диапазона, а также для передачи размера единицы длины в нанометровом диапазоне от первичного эталона к рабочему.
  • Разработка Государственной поверочной схемы для передачи размеров единицы длины от государственного исходного эталона к рабочим средствам измерений.
  • Разработка алгоритмов и программного обеспечения для выполнения измерений и анализа погрешностей результатов измерений.
  • Разработка нормативно-технической документации, включая методику испытаний и поверки средств измерений на приборах нанометрового диапазона геометрических параметров двух- и трехмерных наноструктур.
  • Законодательное оформление разработанного рабочего эталона в качестве Государственного рабочего эталона в области измерений нанометрового диапазона.
  • Организация работ по международному сличению мер линейных размеров.
  • Создание Центра нанометрологии и нанодиагностики.


Hosted by uCoz